The effecf of anodization conditions of silicon on the field emission performances of porous silicon cold cathode were studied.
研究了多孔硅的制备条件对多孔硅冷阴极场发射特性的影响 ,实验表明多孔硅的制备条件如电解电流密度、电解时间等对多孔硅冷阴极的场发射特性有较大的影响。
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