mesh ionization chamber

The effects of a showerhead electrode and longitudinal flow electrode on the growth of silicon films in a PECVD system are studied.

在制备硅薄膜材料的PECVD系统中,分别采用普通平行板电极和网状电极,在相同的工艺条件下研究了电极结构对硅薄膜材料均匀性、电学性能以及微结构的影响。